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高純石墨板在使用過程中對環(huán)境有嚴(yán)格的要求

更新時間:2025-10-11點擊次數(shù):31
  高純石墨板是以高純度石墨(含碳量≥99.99%)為原料,經(jīng)破碎、研磨、酸洗、等靜壓成型、高溫?zé)Y(jié)及脫碳處理等精密工藝制成的板狀材料。其核心特性包括z越的導(dǎo)電性(導(dǎo)電性達(dá)銅的1/5-1/2)、導(dǎo)熱性(導(dǎo)熱性為銅的1/10-1/5)、耐高溫性(可耐受2800℃以上高溫)、化學(xué)穩(wěn)定性(耐酸、堿、鹽腐蝕)及自潤滑性,同時易于切割、打磨、鉆孔等機械加工。
  高純石墨板因其優(yōu)異的耐高溫、導(dǎo)電、導(dǎo)熱和化學(xué)穩(wěn)定性,被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、光伏、單晶硅生長、電化學(xué)、真空高溫爐等對潔凈度和穩(wěn)定性要求高的領(lǐng)域。為了確保其性能穩(wěn)定、延長使用壽命并防止污染,高純石墨板在儲存、加工和使用過程中對環(huán)境有嚴(yán)格的要求。以下是具體環(huán)境要求:
  1、潔凈無塵環(huán)境
  要求:必須在潔凈室或清潔干燥的環(huán)境中儲存和使用,避免灰塵、顆粒物、纖維等污染物附著。
  原因:
  高純石墨(純度通常≥99.99%)用于半導(dǎo)體、光伏等高d制造,任何外來顆粒都可能導(dǎo)致產(chǎn)品缺陷(如晶圓污染)。
  灰塵中的金屬離子(如Fe、Na、K)會降低石墨的純度,影響其在高溫下的電學(xué)和熱學(xué)性能。
  2、溫濕度控制
  溫度:建議在10°C~35°C的常溫環(huán)境下存放和使用。
  濕度:相對濕度應(yīng)控制在≤60%RH,避免高于70%。
  原因:
  高濕度會導(dǎo)致石墨板吸潮,影響其導(dǎo)電性和熱穩(wěn)定性,尤其在高溫使用時水分蒸發(fā)可能引起微裂紋或爆裂。
  濕度過高還可能引起金屬部件(如連接件)腐蝕,或在石墨表面形成水膜,吸附雜質(zhì)。
  溫度劇烈變化可能導(dǎo)致熱應(yīng)力,引發(fā)開裂(盡管石墨本身抗熱震性好,但極d溫差仍需避免)。
  3、避免腐蝕性氣體和化學(xué)污染
  禁止環(huán)境:不得與**強酸、強堿、鹵素氣體(如氯氣、氟氣)、氧化性氣體(如濃硝酸蒸汽)**等接觸。
  原因:
  雖然石墨化學(xué)性質(zhì)穩(wěn)定,但在高溫下仍可與強氧化劑反應(yīng),導(dǎo)致腐蝕或性能下降。
  鹵素氣體可能與碳反應(yīng)生成揮發(fā)性鹵化物,破壞材料結(jié)構(gòu)。
  有機溶劑蒸汽(如丙酮、酒精)雖不直接腐蝕石墨,但殘留物可能在高溫下碳化,污染表面。
  4、防靜電與防摩擦
  操作要求:
  搬運和安裝時應(yīng)佩戴潔凈手套,避免手汗、油脂污染表面。
  避免與其他硬物碰撞、摩擦,防止產(chǎn)生石墨粉塵或劃傷。
  原因:
  表面污染會影響導(dǎo)電接觸和熱傳導(dǎo)效率。
  石墨粉塵不僅污染環(huán)境,還可能進(jìn)入設(shè)備內(nèi)部造成短路或污染產(chǎn)品。
  5、真空或惰性氣氛使用環(huán)境(使用階段)
  典型工況:高純石墨板常用于真空爐、氫氣爐、氬氣爐等高溫設(shè)備中。
  要求:
  使用環(huán)境應(yīng)為惰性氣體(N?、Ar)或還原性氣氛(H?),避免在空氣或富氧環(huán)境中長時間高溫使用。
  若需在空氣中使用,溫度一般應(yīng)低于400°C,否則會發(fā)生氧化,導(dǎo)致材料損耗和強度下降。
  高溫下(>1000°C)必須有保護(hù)氣氛,防止氧化。
  6、儲存環(huán)境要求
  存放條件:
  存放于干燥、通風(fēng)、陰涼的室內(nèi),避免陽光直射。
  石墨板應(yīng)水平放置或垂直存放,避免受壓變形或邊緣破損。
  可用防塵罩或塑料膜包裹,防止落塵。
  禁止:與化學(xué)品、金屬材料混放,防止交叉污染。
  7、遠(yuǎn)離強電磁場(特定應(yīng)用)
  在用于精密半導(dǎo)體或分析設(shè)備時,應(yīng)避免強電磁干擾,以防影響設(shè)備整體性能。
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